正在半导体坐蓐周围,某半导体坐蓐企业每天排放高达 1800 吨的工业废水,这些废水的管束成为一个环节题目。半导体坐蓐经过极为丰富,涉及浩繁工艺和本事,且操纵洪量有机溶剂,使得废水管束难度极大。
一、重金属污染。正在半导体例作中,百般蚀刻液和洗刷剂常含有铜、锌、镉、铅、锡、镍等重金属。这些重金属若不伏贴管束,进入境遇后会对生态编造和人类壮健变成吃紧危险。二、有机化合物。坐蓐经过中操纵的溶剂(如异丙醇、丙酮等)、光阻剂以及其他有机增添物会排放到废水中,添加了废水的管束难度。三、酸碱物质。晶圆坐蓐和洗刷经过会用到洪量酸性(如硫酸、盐酸、硝酸)和碱性(如氢氧化钠和氢氧化钾)化学品,导致废水酸碱度失衡。四、悬浮固体。硅片切割时形成硅屑,以及其他固体残留物恐怕展现正在废水中,影响废水的水质。五、含氨废水。正在显影、洗刷、湿法刻蚀等经过中会排放洪量含氨废水,氨氮含量过高会对水体变成富养分歧等题目。
化学浸淀法和氧化还原法正在半导体工业废水办理中操纵较多。化学浸淀法操作纯粹、代价省钱,首要用于去除废水中的重金属污染物,包含中和浸淀法、铁氧体浸淀法、硫化物浸淀法等。其道理是通过参加化学药剂与重金属离子发作反映,将重金属离子转化对立溶的浸淀物质,再通过过滤或浸淀的形式实行星散,从而到达去除主意。比如,正在中和浸淀法中,通过列入碱性物质,使重金属离子与氢氧根离子团结造成浸淀。
蒸发结晶法和膜星散法是实行半导体工业废水回用的紧要形式。膜星散法拥有星散结果高、无二次污染、操作简明、占地面积幼等特征,正在半导体工业废水管束中拥有很强的本事上风,也是目前 “中水回用编造” 的首要废水管束形式。
该形式包含反排泄法、超滤法、电渗析等。此中,反排泄是愚弄反排泄道理,正在工业废水一侧施加较高压力,使举动溶剂的水分子透过半透膜,实行水与重金属及其他溶质的星散。
生物法分为厌氧生物和睦氧生物管束,首要用于去除废水中的有机物,也可打算出脱氮除磷的管束工艺,去除废水中的氨氮和磷。目前可去除重金属的生物法有生物吸附法、生物絮凝法、植物修复法以及生物化学法。
生物法拥有简明适用、经过职掌纯粹、污泥量少、二次污染少、效益上等特征。厌氧生物管束是高浓度有机废水的常用途理形式,正在无需供应氧的情形下,愚弄厌氧微生物的代谢经过,将有机物转化为洪量生物气(沼气)和少量细胞物质。其经过分为水解阶段、酸化阶段、产乙酸阶段和产甲烷阶段。
管束半导体工业废水并非易事,需求团结多种废水管束形式(分质分流),打算一个废水管束编造,本领使废水安谧到达所需规范。